发明名称 |
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND ITS PRODUCTION |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS52135688(A) |
申请公布日期 |
1977.11.12 |
申请号 |
JP19760053419 |
申请日期 |
1976.05.10 |
申请人 |
NIPPON ELECTRIC CO |
发明人 |
KUSAKA TERUO;IKEDA KAZUKO |
分类号 |
H01L27/082;H01L21/76;H01L21/8226 |
主分类号 |
H01L27/082 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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