发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND ITS PRODUCTION
摘要
申请公布号 JPS52135688(A) 申请公布日期 1977.11.12
申请号 JP19760053419 申请日期 1976.05.10
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 KUSAKA TERUO;IKEDA KAZUKO
分类号 H01L27/082;H01L21/76;H01L21/8226 主分类号 H01L27/082
代理机构 代理人
主权项
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