| 发明名称 |
METHOD OF WASHING SUBSTRATE HOUSING CASE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS61133183(A) |
申请公布日期 |
1986.06.20 |
| 申请号 |
JP19840252864 |
申请日期 |
1984.11.30 |
| 申请人 |
HOYA CORP |
发明人 |
SUZUKI OSAMU;TANIDA KAZUO |
| 分类号 |
B08B9/093;B08B7/04;B08B9/36;G03F1/40;G03F1/66;G03F1/82;H01L21/304;H01L21/67;H01L21/68 |
主分类号 |
B08B9/093 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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