发明名称 Conductive pattern for electric test of semiconductor chips.
摘要
申请公布号 EP0325269(B1) 申请公布日期 1994.03.23
申请号 EP19890100956 申请日期 1989.01.20
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 ISHIKAWA, MICHIHIRO
分类号 H01L23/544;G01R1/067;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 H01L23/544
代理机构 代理人
主权项
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