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发明名称 TITANNITRID- ODER ZINNOXIDAUFLAGE AUF DER OBERFLÄCHE EINER BESCHICHTUNGSANLAGE.
摘要
申请公布号 DE69113994(T2) 申请公布日期 1996.05.02
申请号 DE19916013994T 申请日期 1991.02.15
申请人 GORDON, ROY GERALD, CAMBRIDGE, MASS., US 发明人 GORDON, ROY GERALD, CAMBRIDGE, MASS., US
分类号 C23C16/34;C03C17/00;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/54;(IPC1-7):C23C16/34;C23C16/46 主分类号 C23C16/34
代理机构 代理人
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