摘要 |
Vorrichtung (1) mit einem Befestigungsmittel (10) für Einbauten (13) in einer aus Anlagenkammern (2) bestehenden Vakuumbehandlungsanlage, wobei eine Anlagenkammer (2) mit mindestens einer mechanischen Drehdurchführung (7) für eine Transportrolle (11) eines Transportsystems Einbauten (13) aufweist, wobei in einer Wand (3) der Anlagenkammer (2) mindestens eine durchgehende Bohrung (19) mit einer Bohrachse (17) und mit einem Durchmesser für die Drehdurchführung (7) vorgesehen ist und wobei die Drehdurchführung (7) mindestens ein zu deren Befestigung vorgesehenes Dicht- und Haltemittel (9), das die Drehdurchführung (7) mit der Wand (3) verbindet, aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass das Befestigungsmittel (10) eine durchgehende Bohrung (18), die den gleichen Durchmesser wie die Bohrung (19) in der Wand (3) hat, aufweist, dass die Bohrungen (19, 18) sowohl in der Wand (3) als auch im Befestigungsmittel (10) so zueinander angeordnet sind, dass diese eine gemeinsame Bohrachse (17) aufweisen, dass das Befestigungsmittel (10) an einer inneren Fläche (4) der Wand (3) angeordnet ist, dass an dem Befestigungsmittel (10) die Einbauten (13) befestigt sind, dass das Befestigungsmittel (10) zwischen der inneren Fläche (4) der Wand (3) und einem inneren Dicht- und Haltemittel (8) angeordnet ist und dass die Dicht- und Haltemittel (8, 9) beidseitig gegen die Wand (3) drückend sowohl die Drehdurchführung (7) als auch das Befestigungsmittel (10) mit der Wand (3) verbindend ausgeführt sind. |