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发明名称 DEVICE FOR PRODUCING CARBON THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH02208291(A) 申请公布日期 1990.08.17
申请号 JP19890028907 申请日期 1989.02.08
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 MATSUI YASUTSUGU;SAWARA MIEKO
分类号 C01B31/06;C23C16/26;C30B29/04 主分类号 C01B31/06
代理机构 代理人
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