一种太赫兹波段离轴三反射镜系统及其装调方法

摘要

本发明提供了一种太赫兹波段离轴三反射镜系统及其装调方法，属于离轴反射成像光学系统技术领域。所述太赫兹波段离轴三反射镜系统包括测量基座、主镜、次镜、三镜，其特征在于，还包括设置在测量基座上的第一测量探头、第二测量探头、第三测量探头，以及固定在主镜侧面的第一高精度参考块，固定在次镜侧面的第二高精度参考块和固定在三镜侧面的第三高精度参考块，所述第一测量探头、第二测量探头和第三测量探头上均设置有距离传感器，通过距离传感器测量第一高精度参考块、第二高精度参考块和第三高精度参考块的位置、姿态和自由度信息，则可得到主镜、次镜和三镜的位置、姿态和自由度信息，从而实现大型离轴三反射镜系统的精确装调。

主权项

一种太赫兹波段离轴三反射镜系统，包括测量基座、主镜、次镜、三镜，其特征在于，还包括设置在测量基座上的第一测量探头、第二测量探头、第三测量探头，以及固定在主镜侧面的第一高精度参考块，固定在次镜侧面的第二高精度参考块和固定在三镜侧面的第三高精度参考块，所述第一测量探头、第二测量探头和第三测量探头上均设置有距离传感器，通过距离传感器测量第一高精度参考块、第二高精度参考块和第三高精度参考块的位置、姿态和自由度信息，则可得到主镜、次镜和三镜的位置、姿态和自由度信息，从而实现反射镜的装调。