晶圆之清洗方法及其装置

摘要

一种晶圆之清洗方法及其装置，用以去除晶圆上之高分子聚合物(Polymer)。此方法系在利用化学溶液清洗晶圆上之高分子聚合物后，先利用热去离子水(DIW)冲洗晶圆上之残余物，再利用热氮气(N2)来乾燥晶圆。