| 摘要 |
分光センサ１Ａは、第１ミラー３１と第２ミラー４１との間の距離に応じて透過した光を対向方向Ｄに沿って通過させる開口５０ａが設けられたファブリペロー干渉フィルタ１０と、開口５０ａを通過した光を受光する受光部３ａを有する光検出器３と、光検出器３が実装された配線基板２と、フィルタ１０と配線基板２との間に、開口５０ａ内の第１空間Ｓ１と連続し且つ対向方向Ｄから見た場合に第１空間Ｓ１を含む第２空間Ｓ２が形成されるように、配線基板２上においてフィルタ１０を支持する複数のスペーサ４と、を備える。光検出器３は、第２空間Ｓ２内に配置されている。受光部３ａは、対向方向Ｄから見た場合に第２空間Ｓ２において第１空間Ｓ１に対応する領域内に配置されている。 |
