検査装置及び検査方法

摘要

【課題】高い感度と高いスループットを両立させた検査装置及び検査方法を提供する。【解決手段】実施形態に係る検査装置は、検査対象物を撮像して一次画像を取得する顕微鏡と、検量用サンプルの低解像画像と前記低解像画像よりも画素サイズが小さい高解像画像との関係を規定する関数が記憶された記憶部と、前記関数を用いて、前記一次画像から前記一次画像よりも画素サイズが小さい二次画像を作成する画像処理部と、前記二次画像を用いて前記検査対象物を検査する検査部と、を備える。【選択図】図１