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发明名称 ASHING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH05234881(A) 申请公布日期 1993.09.10
申请号 JP19920033660 申请日期 1992.02.20
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NISHIKAWA KIYOKO;SHINAGAWA KEISUKE
分类号 G03F7/42;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/42
代理机构 代理人
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