極端紫外光生成装置

摘要

ターゲットを効率的に回収し得る。極端紫外光生成装置は、内部でターゲットにレーザ光が照射されると極端紫外光が生成されるチャンバと、前記チャンバの内部に前記ターゲットを供給するターゲット供給部と、前記ターゲット供給部によって供給され前記レーザ光が照射されなかった前記ターゲットを、前記ターゲットとの接触角が９０°より大きい受面で受けて回収容器内に回収するターゲット回収部と、を備えてもよい。