| 发明名称 |
石英ウエハの接合のためのシステム及び方法 |
| 摘要 |
【課題】石英ウエハの接合のためのシステム及び方法を提供する。【解決手段】一実施形態では、接合型石英ウエハパッケージは、１以上の石英系デバイスを備える第１の石英ウエハと、第１の石英ウエハの上方に配置された第２の石英ウエハと、第１及び第２の石英ウエハを互いに接合する第１及び第２の石英ウエハの間に配置された液晶ポリマー（ＬＣＰ）接合層とを備える。【選択図】図１Ａ |
| 申请公布号 |
JP2017049237(A) |
申请公布日期 |
2017.03.09 |
| 申请号 |
JP20160160272 |
申请日期 |
2016.08.18 |
| 申请人 |
ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ |
发明人 |
クリストファー・ジェイムズ・カプスタ;マルコ・フランチェスコ・アイミ |
| 分类号 |
G01L1/00;H03H3/08;H03H9/25 |
主分类号 |
G01L1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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