基于纳米盘阵列结构的光学超材料吸收器

摘要

一种基于纳米盘阵列结构的光学超材料吸收器，包括玻璃衬底，其特征是在玻璃衬底上依次沉积氮化钛薄膜、氧化铟锡薄膜和阵列的盘状氮化钛纳米盘，所述的氮化钛薄膜的厚度t3的取值范围不小于200nm，氧化铟锡薄膜的厚度t2的取值范围为45nm‑55nm，氮化钛nm盘的厚度t1的取值范围为40nm‑60nm，所述的氮化钛纳米盘的中心间距P的取值范围为450nm‑550nm，纳米盘的直径d的取值范围为240nm‑320nm。本发明超材料吸收器具有吸收效率高，结构简单等优点，在550nm到650nm的波段范围的平均吸收率大于95％。可以应用于生物传感器，探测器和光伏器件等。

主权项

一种基于纳米盘阵列结构的光学超材料吸收器，包括玻璃衬底，其特征是在玻璃衬底上依次沉积氮化钛薄膜、氧化铟锡薄膜和阵列的盘状氮化钛纳米盘，所述的氮化钛薄膜的厚度t3的取值范围为不小于200nm，氧化铟锡薄膜的厚度t2的取值范围为45nm‑55nm，氮化钛nm盘的厚度t1的取值范围为40nm‑60nm，所述的氮化钛纳米盘的中心间距P的取值范围为450nm‑550nm，纳米盘的直径d的取值范围为240nm‑320nm。