一种高真空扩散泵循环水套装置

摘要

本实用新型涉及一种高真空扩散泵循环水套装置，包括扩散泵泵体，冷却水套、螺旋水道、进水口、出水口与排污阀，所述扩散泵泵体的外表面设置有冷却水套，在冷却水套上设置有进水口与出水口，进水口与出水口位于同一侧且进水口低于出水口，所述螺旋水道螺旋设置在所述扩散泵泵体与冷却水套之间，所述排污阀安装在冷却水套下方的最低处。采用该实用新型设计后，循环水流量增大，扩散泵外部可以得到整体冷却，设备冷却效果好，能保证较高的真空度，大大提高了产品质量，缩短了生产周期，降低了生产成本。

主权项

一种高真空扩散泵循环水套装置，包括扩散泵泵体，冷却水套、螺旋水道、进水口、出水口与排污阀，其特征在于，所述扩散泵泵体的外表面设置有冷却水套，在冷却水套上设置有进水口与出水口，进水口与出水口位于同一侧且进水口低于出水口，所述螺旋水道螺旋设置在所述扩散泵泵体与冷却水套之间，所述排污阀安装在冷却水套下方的最低处。