混合集成的部件和用于其制造的方法

摘要

用于实现混合集成的部件的措施，其电容器装置可实现高灵敏度的信号检测和MEMS构件的微机械结构的灵敏控制。混合集成的部件包括延伸在MEMS衬底的整个厚度上的MEMS构件（20），微机械结构的至少一个结构元件可偏转并且与包括可运动的电极（51）和固定的电极（52）的至少一个电容器装置作用连接；还包括具有电容器装置的电极（52）的ASIC构件（10）。MEMS构件装配在ASIC构件上，在微机械结构和ASIC构件的表面之间存在间隙（21）。从ASIC构件的层结构中脱离出电容器装置的至少一个电极（51）并且替代地机械和电地连接在MEMS构件的可偏转的结构元件（23）上，从而电极（51）作为电容器装置的运动的电极起作用。

主权项

一种混合集成的部件，所述混合集成的部件至少包括：·具有微机械结构的一个MEMS构件，该微机械结构延伸在MEMS衬底(20)的整个厚度上，其中所述微机械结构的至少一个结构元件(23)可偏转并且与至少一个电容器装置作用连接，所述至少一个电容器装置包括至少一个可运动的电极(51)和至少一个固定的电极(52)，·具有所述电容器装置的至少一个固定的电极(52)的ASIC构件(10)，其中所述MEMS构件装配在所述ASIC构件(10)上，从而在所述微机械结构和所述ASIC构件(10)的表面之间存在间隙(21)，其特征在于，所述电容器装置的至少一个可运动的电极(51)从所述ASIC构件(10)的层结构中脱离出并且替代地机械和电地连接在所述MEMS构件的所述可偏转的结构元件(23)上并且作为所述电容器装置的可运动的电极(51)起作用。