MEMS-Leiterplattenmodul mit integrierter piezoelektrischer Struktur sowie Schallwandleranordnung

摘要

Die Erfindung betrifft ein MEMS-Leiterplattenmodul (1) für eine Schallwandleranordnung (2) zum Erzeugen und/oder Erfassen von Schallwellen im hörbaren Wellenlängenspektrum mit einer Leiterplatte (4) und einer mehrschichtigen piezoelektrischen Struktur (5), mittels der eine dafür vorgesehene Membran (6) in Schwingungen versetzbar und/oder Schwingungen der Membran (6) erfassbar sind. Erfindungsgemäß ist die mehrschichtige piezoelektrische Struktur (5) mit der Leiterplatte (4) unmittelbar verbunden. Ferner betrifft die Erfindung eine Schallwandleranordnung (2) mit einem derartigen MEMS-Leiterplattenmodul (1) sowie ein Verfahren zur Herstellung des MEMS-Leiterplattenmoduls (1) und der Schallwandleranordnung (2).