用于对表面的三维红外成像的装置和方法

摘要

本申请涉及用于对表面的三维红外成像的装置和方法。公开了扫描仪和使用该扫描仪的方法。扫描仪包括镜台、MIR光源、成像系统和控制器。镜台适于保持要被成像的样本以及沿第一方向和与第一方向正交的第二方向移动样本。当镜台被定位为在第二方向上与成像系统中的已知点相距z时，成像系统形成样本的像平面。成像系统以照明波长形成样本的多个不同像平面。多个像平面中的每个像平面以不同的z值为特征，控制器为样本上的多个点中的每个点确定使得样本上的该点是焦点对准的z值。

主权项

一种装置，包括：镜台，该镜台适于保持要被成像的样本并且沿第一方向和与所述第一方向正交的第二方向移动所述样本；MIR光源，该MIR光源以照明波长照射所述样本；成像系统，该成像系统以焦深为特征，所述焦深小于所述成像系统被设计的最大样本高度，当所述镜台被定位为在第二方向上与所述成像系统中的已知点相距z时，所述成像系统形成所述样本的像平面；控制器，该控制器使得所述成像系统以所述照明波长形成所述样本的多个不同像平面，所述多个像平面中的每个像平面以不同的z值为特征，所述控制器为所述样本上的多个点中的每个点确定使得所述样本上的该点是焦点对准的z值。