| 摘要 |
真空チャンバー内で、モノマーを蒸着してモノマー層を形成した後当該モノマー層に電子線を照射してモノマー層を硬化することにより樹脂薄膜層を形成する樹脂薄膜層形成工程と、金属材料を蒸着して金属薄膜層を形成する金属薄膜層形成工程とを回転ドラム上で交互に繰り返して行うことにより、回転ドラム上に樹脂薄膜層と金属薄膜層とが交互に積層された積層体を製造する積層体製造工程を含む薄膜高分子積層フィルムコンデンサの製造方法。樹脂薄膜層形成工程においては、モノマーとして、下記の化学式（１）で表される脂環式炭化水素骨格を有するジメタクリレート化合物を用いてモノマー層を形成する。【化１】但し、化学式（１）中、符号Ａは脂環式炭化水素を含む有機基を示す。本発明によれば、得られる樹脂薄膜層の硬化度を十分に高くすることが可能となり、その結果、所望の性能を有する薄膜高分子積層フィルムコンデンサを製造することが可能となる。 |
