| 发明名称 | Nd:YAG晶体及其表面抛光方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种Nd:YAG晶体及其表面抛光方法。本发明提供的Nd:YAG晶体表面抛光方法，包括步骤：步骤S1、对Nd:YAG晶体表面进行超声波清洗，烘干，去除所述Nd:YAG晶体表面的杂质；步骤S2、在真空中利用低能离子束对步骤S1所得样品溅射刻蚀，控制低能离子束在晶体表面以均匀的速度和等量步距进行扫描。该方法无机械抛光应力，抛光过程在真空中进行且不使用抛光粉等辅助材料，可有有效的减少表面微划痕、亚表面损伤等加工缺陷，改善表面粗糙度，提高表面质量，进而提高晶体在高能激光应用中的损伤阈值。 | ||
| 申请公布号 | CN106531627A | 申请公布日期 | 2017.03.22 |
| 申请号 | CN201611059072.9 | 申请日期 | 2016.11.25 |
| 申请人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明人 | 张海涛;王丽萍;金春水;张文龙 |
| 分类号 | H01L21/3065(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/3065(2006.01)I |
| 代理机构 | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人 | 赵勍毅 |
| 主权项 | 一种Nd:YAG晶体表面抛光方法，其特征在于：所述抛光方法包括：步骤S1、对Nd:YAG晶体表面进行超声波清洗，烘干，去除所述Nd:YAG晶体表面的杂质；步骤S2、在真空中利用低能离子束对步骤S1所得样品溅射刻蚀，控制低能离子束在晶体表面以均匀的速度和等量步距进行扫描。 | ||
| 地址 | 130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号 | ||