| 摘要 |
【課題】使用環境の変化による圧脈波の検出精度への影響を知ることのできる圧脈波センサの検査方法を提供する。【解決手段】凹部１０ａによって厚みの薄くなった部分に感圧素子列１０Ｄが形成された半導体基板１０Ａと、感圧素子列１０Ｄと電気的に接続された端子部（１０Ｂ，１０Ｃ）とを有するセンサチップ１０を、凹部１０ａが基板１１の貫通孔１１Ｄのみによって大気と連通するように、基板１１に接着固定した後、基板１１の端子部（１１Ｂ，１１Ｃ）とセンサチップ１０の端子部（１０Ｂ，１０Ｃ）とをワイヤ（Ｗ１，Ｗ２）により接続し、その後、貫通孔１１Ｄから空気を吸引して、感圧素子列１０Ｄが形成される面に負圧を印加した状態で、基板１１の端子部（１１Ｂ，１１Ｃ）から出力される信号に基づいてセンサチップ１０の特性評価を行う。【選択図】図７ |
