調整板、これを備えためっき装置、及びめっき方法

摘要

【課題】電場調整板の位置を変更することなく、基板と調整板の筒状体との距離を調整する方法の提供。【解決手段】調整板２０の開口部２１に設けられた筒状体３０の縁３１が、ピストン機構により伸縮移動する調整板。ピストンは２５ｃから供給される気体で稼働し、筒状体３０を多段の蛇腹機構としてもよいめっき装置。【選択図】図２