除去対象物の除去方法

摘要

【課題】下地にダメージを与えることなく、かつ、全ての除去対象物を効率よく除去する方法を提供すること。【解決手段】ドライエッチングのマスク材として使用するレジスト、ドライエッチングの過程で生じる変質層およびデポ膜を、剥離液を用いて除去する除去対象物の除去方法であって、剥離液として第一の剥離液、第二の剥離液および第三の剥離液を用い、第一の剥離液から第二の剥離液、第二の剥離液から第三の剥離液へと、剥離液の組成を連続的に変化させることにより、下地材料にダメージを与えることなく、複数の除去対象物を選択的に除去する方法を提供する。【選択図】図２