| 摘要 |
【課題】光の可干渉距離が短い場合であっても該光のコリメーションを高感度かつ高コントラストで評価することができる装置を提供する。【解決手段】コリメーション評価装置１は、第１反射部材１０、第２反射部材２０、スクリーン３０および筐体４０を備える。第１反射部材１０の第１反射面１１と第２反射部材２０の第１反射面２１とは、対向していて互いに平行である。第１反射部材１０の第１反射面１１および第２反射部材２０の第２反射面２２で反射した光Ｌ１２と、第１反射部材１０の第２反射面１２および第２反射部材２０の第１反射面２１で反射した光Ｌ２１とにより、スクリーン３０上に干渉縞を形成する。【選択図】図４ |
