发明名称 蒸着マスクの製造方法および蒸着マスク
摘要 PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a vapor deposition mask capable of preventing wrinkles.SOLUTION: A vapor deposition mask 20 comprises: plural effective regions 22 which are aligned in a longitudinal direction of the vapor deposition mask 20 and on each of which plural through holes 25 are formed; and a stress relaxation region 50 interposed between the adjacent effective regions 22 and relaxing longitudinal stress of the vapor deposition mask 20. The stress relaxation region 50 has a stress relaxation recess 51 provided on a first face 20a of the vapor deposition mask 20.
申请公布号 JP6086305(B2) 申请公布日期 2017.03.01
申请号 JP20130003732 申请日期 2013.01.11
申请人 大日本印刷株式会社 发明人 池 永 知加雄;廣 部 吉 紀;羽 鳥 敏 洋;安 在 祐 二
分类号 C23C14/24;H01L51/50;H05B33/10 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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