摘要 |
基板の反りによる問題の発生を防止する。インクジェットヘッド1は、下方にインクが吐出されるノズルNに連通するよう設けられてインクが収容される圧力室21が形成された圧力室基板20と、圧力室基板20の上側に積層されて圧力室21の一面を形成する振動板30の上側に積層されたスペーサー基板40と、スペーサー基板40の上側に積層された配線基板50と、配線基板50と振動板30との間でスペーサー基板40により形成されたスペース内で振動板30に当接するよう設けられるとともに配線基板50の配線52と電気的に接続されたアクチュエーター60と、を備え、圧力室基板20、振動板30、スペーサー基板40及び配線基板50は、各々の熱膨張係数の差が所定値以下である。 |