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发明名称 ＮＨ３雰囲気高温加熱装置
摘要
申请公布号 JP6083766(B2) 申请公布日期 2017.02.22
申请号 JP20150134610 申请日期 2015.07.03
申请人 株式会社エピクエスト;国立大学法人三重大学 发明人 梅宮 義基;市岡 幹朗;禅野 由明;山本 高稔;三宅 秀人
分类号 H01L21/205;H01L21/324;H05B6/02;H05B6/10 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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