| 发明名称 | 具有更均匀的边缘净化的基板支撑件 | ||
| 摘要 | 本文提供基板支撑件的实施方式。在一些实施方式中，基板支撑件包含：第一板，用以支撑基板，第一板的背侧上具有多个净化气体通道；第二板，设置于第一板下方并支撑第一板；及边缘环，环绕第一板并设置于第二板上方，其中多个净化气体通道从第一板的部分中的单一入口延伸至第一板的边缘处的多个出口，且其中多个气体净化通道具有实质相等的流导。 | ||
| 申请公布号 | CN106463365A | 申请公布日期 | 2017.02.22 |
| 申请号 | CN201580035762.8 | 申请日期 | 2015.06.05 |
| 申请人 | 应用材料公司 | 发明人 | 贾勒帕里·拉维;松下智治;阿拉维德·米亚尔·卡马斯;袁晓雄;振雄·马修·蔡;曼朱纳塔·科普帕 |
| 分类号 | H01L21/205(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/205(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人 | 徐金国;赵静 |
| 主权项 | 一种基板支撑件，包括：第一板，用以支撑基板，所述第一板的背侧上具有多个净化气体通道；第二板，设置于所述第一板下方并支撑所述第一板；及边缘环，环绕所述第一板并设置于所述第二板的上方，其中所述多个净化气体通道从所述第一板的中央部分中的单一入口延伸至所述第一板的边缘处的多个出口，且其中所述多个净化气体通道具有实质相等的流导。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||