| 发明名称 | 树脂组合物、由其形成的固化膜和图案固化膜、以及它们的制造方法 | ||
| 摘要 | 一种含有下述(a)成分、(b)成分和(c)成分的树脂组合物。(a)具有下述式(1)所表示的结构单元的聚酰亚胺前体；(b)曝光部表面增溶剂；(c)通过活性光线照射产生自由基的化合物(式(1)中，R<sup>1</sup>为四价有机基团，R<sup>2</sup>为二价有机基团，R<sup>3</sup>和R<sup>4</sup>各自独立地为氢原子、烷基、环烷基或具有碳碳不饱和双键的一价有机基团。)。<img file="DDA0001081478530000011.GIF" wi="1556" he="252" /> | ||
| 申请公布号 | CN106462057A | 申请公布日期 | 2017.02.22 |
| 申请号 | CN201580009210.X | 申请日期 | 2015.02.17 |
| 申请人 | 日立化成杜邦微系统股份有限公司 | 发明人 | 小野敬司;榎本哲也;谷本明敏;大江匡之;铃木佳子 |
| 分类号 | G03F7/004(2006.01)I;G03F7/027(2006.01)I;G03F7/031(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/004(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人 | 钟晶;陈彦 |
| 主权项 | 一种树脂组合物，其含有下述(a)成分、(b)成分和(c)成分，(a)具有下述式(1)所表示的结构单元的聚酰亚胺前体(b)曝光部表面增溶剂(c)通过活性光线照射产生自由基的化合物<img file="FDA0001081478500000011.GIF" wi="1716" he="284" />式(1)中，R<sup>1</sup>为四价有机基团，R<sup>2</sup>为二价有机基团，R<sup>3</sup>和R<sup>4</sup>各自独立地为氢原子、烷基、环烷基或具有碳碳不饱和双键的一价有机基团。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||