一种薄膜在线监测装置

摘要

本实用新型一种薄膜在线监测装置，包括一膜层分析装置以及分别与膜层分析装置电性连接的至少一膜层测量仪探头、至少一红外测温探头，该膜层测量仪探头用于检测镀膜时玻璃芯片的镀膜参数模拟值，该红外测温探头用于检测镀膜时玻璃芯片的表面温度模拟值，膜层分析装置用于根据所述镀膜参数模拟值、表面温度模拟值计算并且显示镀膜参数。本实用新型在线监测装置相对于传统离线监测装置监测速度更快，且在线监测是对每一片镀膜玻璃的膜层厚度进行监测，技术人员可以根据每片玻璃的镀膜装置对工艺和设备进行调整，避免了由于监测遗漏造成的损失。

主权项

一种薄膜在线监测装置，其特征在于：包括一膜层分析装置以及分别与膜层分析装置电性连接的至少一膜层测量仪探头、至少一红外测温探头，该膜层测量仪探头用于检测镀膜时玻璃芯片的镀膜参数模拟值，该红外测温探头用于检测镀膜时玻璃芯片的表面温度模拟值，膜层分析装置用于根据所述镀膜参数模拟值、表面温度模拟值计算并且显示镀膜参数。