| 发明名称 | 用于容纳背侧气体的具有静电流体密封的静电卡盘 | ||
| 摘要 | 在一个实施例中，提供一种静电卡盘，并且所述静电卡盘包括：背衬基板；以及圆盘基板，所述圆盘基板设置在所述背衬基板上，所述圆盘基板包括由外围卡紧模块包围的多个中心卡紧模块，所述外围卡紧模块具有第一电极和第二电极，所述第一电极和所述第二电极平行于彼此并基本上平行于所述圆盘基板的侧。 | ||
| 申请公布号 | CN106449502A | 申请公布日期 | 2017.02.22 |
| 申请号 | CN201610613168.9 | 申请日期 | 2016.07.29 |
| 申请人 | 应用材料公司 | 发明人 | 王作乾;J·M·怀特 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 黄嵩泉 |
| 主权项 | 一种静电卡盘，所述静电卡盘包括：背衬基板；以及圆盘基板，所述圆盘基板设置在所述背衬基板上，所述圆盘基板包括：多个中心卡紧模块，所述多个中心卡紧模块由外围卡紧模块包围，所述外围卡紧模块具有第一电极和第二电极，所述第一电极和所述第二电极平行于彼此，并且基本上平行于所述圆盘基板的侧。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||