一种晶圆制造企业电压暂降损失风险模糊综合评价方法

摘要

本发明涉及一种晶圆制造企业电压暂降损失风险模糊综合评价方法，考虑电压暂降导致晶圆制造企业的损失多样性，分类量化了电压暂降造成的直观损失风险和难以量化的损失风险。再根据晶圆制造企业电压暂降损失风险的量化结果，基于工厂企业损失风险多层次多指标的特点，建立电压暂降损失风险模糊综合评价体系，确定晶圆制造企业的综合损失风险等级，本发明能够综合度量暂降给用户造成的损失风险情况。

主权项

一种晶圆制造企业电压暂降损失风险模糊综合评价方法，其特征在于：包括以下步骤；步骤S1：将晶圆制造企业的损失风险分为直接损失、恢复损失和隐藏损失；所述直接损失包括产品报废、停工损失和停机储蓄；所述恢复损失包括恢复费用和恢复时间；所述隐藏损失包括外部隐藏损害和内部隐藏损失；所述内部隐藏损失为企业内部员工对于电压暂降问题的抱怨程度，所述外部隐藏损失为由电压暂降造成的产品质量下降和生产计划延期所引起的工厂企业竞争力、声誉和客户满意度的下降程度；步骤S2：采用不确定性随机评估方法对晶圆制造企业敏感设备的敏感度进行评估，再根据各设备元件之间的逻辑关系计算晶圆制造企业各生产环节的敏感度；结合晶圆制造企业暂降水平评估结果，根据风险理论对工厂企业的直接损失风险、恢复损失风险和隐藏损失风险分别进行分析量化；步骤S3：结合步骤S2得出的晶圆制造企业各部分损失风险的量化分析结果，建立基于层次分析法的晶圆制造企业损失风险模糊综合评价体系；根据各损失风险指标评价等级隶属度函数和评价集获得各损失风险指标的评价信息，并基于最大隶属度原则，确定晶圆制造企业的电压暂降综合损失风险等级。