搬运装置

摘要

本发明提供一种搬运装置，将产生翘曲的基板以矫正后的状态夹紧。在本发明的搬运装置中，下翘曲状态的电路基板(52)被抬起至比设定高度低设定距离的位置。接下来，该电路基板由夹持部件(56、58)夹持，在缘部，通过按压件(88)朝下方被按压。并且，在解除了按压件的按压之后，使电路基板向上方移动设定距离。由此，能够将下翘曲状态的基板以矫正后的状态夹紧。而且，上翘曲状态的电路基板被抬起至设定高度。接下来，该电路基板在部由按压件朝下方按压，由此变形为下翘曲状态。并且，在通过夹持部件夹持了由按压件按压的状态的电路基板之后，解除按压件的按压。由此，能够将上翘曲状态的基板以矫正后的状态夹紧。

主权项

一种搬运装置，具备：输送装置，对基板进行搬运；夹紧装置，具有一对夹持部件，使这一对夹持部件中的至少一方接近，夹持基板的两缘，由此将基板夹紧；及支撑部件，配置在所述一对夹持部件之间，并从下方支撑基板，通过所述支撑部件将由所述输送装置搬运至预定的位置的基板从所述输送装置抬起，并通过所述夹紧装置将抬起的所述基板夹紧，所述搬运装置的特征在于，该搬运装置具备：按压部件，配置在所述输送装置的上方，从上方按压基板；及控制装置，具有为了将基板的中央部比缘部突出的状态即上翘曲状态的基板夹紧而控制所述搬运装置的动作的第一夹紧部，所述第一夹紧部具有：第一支撑部件动作控制部，通过所述支撑部件将由所述输送装置搬运至预定的位置的基板抬起至预先设定的设定高度；第一按压部件动作控制部，通过所述按压部件将由所述支撑部件抬起的基板的中央部朝下方按压，由此使基板变形为所述下翘曲状态；第一夹持部件动作控制部，通过所述一对夹持部件夹持由所述按压部件按压的基板；及第二按压部件动作控制部，解除所述按压部件的按压。