圧電駆動装置、ロボット、及び圧電駆動装置の駆動方法

摘要

【課題】振動体の剛性を低くすることにより効率を向上する圧電駆動装置、ロボット、及び圧電駆動装置の駆動方法を提供する。【解決手段】圧電駆動装置は、第１面２１７と、凹部１２が形成された第２面２１８とを有する振動体２１０と、第１面２１７に設けられた圧電素子１１０と、を含み、第２面２１８の法線方向から見て、凹部１２と圧電素子１１０とが重なる部分を有する。【選択図】図１