| 摘要 |
高い感度を維持しつつ、耐薬品性および硬化膜密着性を良好にすることができる感光性樹脂組成物を提供する。（ａ１）酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位および（ａ２）架橋性基（ただしブロックイソシアネート基およびＯＨ基を除く）を有する構成単位を有する重合体、または構成単位（ａ１）を有する重合体および構成単位（ａ２）を有する重合体の少なくとも一方を満たす重合体を含む重合体成分、光酸発生剤、溶剤を含有し、重合体成分中、構成単位（ａ１）および構成単位（ａ２）を有する重合体、構成単位（ａ１）を有する重合体および構成単位（ａ２）を有する重合体の少なくとも１種に、（ａ４）ブロックイソシアネート基を有する構成単位が少なくとも１種含まれているか、構成単位（ａ４）を含み、かつ構成単位（ａ１）および構成単位(ａ２)を含まない重合体を少なくとも１種含む感光性樹脂組成物。 |
