摘要 |
Es wird ein Sensorelement (10) zur Erfassung mindestens einer Eigenschaft eines Messgases in einem Messgasraum, insbesondere zur Erfassung eines Anteils einer Gaskomponente in dem Messgas oder einer Temperatur des Messgases, vorgeschlagen. Das Sensorelement (10) umfasst ein Trägerelement (12) und mindestens eine Festelektrolytschicht (14). Die Festelektrolytschicht (14) ist auf dem Trägerelement (12) angeordnet. Die Festelektrolytschicht (14) ist zumindest teilweise epitaktisch ausgebildet. Das Trägerelement (12) weist mindestens eine Aussparung (16) auf, so dass die Festelektrolytschicht (14) mindestens einen Membranabschnitt (18) aufweist. Weiterhin wird ein Verfahren zum Herstellen eines solchen Sensorelements (10) vorgeschlagen. |