| 摘要 |
본 발명은 신축성 향상을 위한 메타 계면 구조물에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 적층 구조로 형성된 기판 및 소자(전극) 사이에 단원자층의 2차원 재료가 2층 이상 적층되어 이루어진 메타 계면이 슬라이딩 됨에 따라, 기판에 가해진 변형량보다 작은 변형량을 소자(전극)에 전달함으로써 전체 구조물의 신축성을 향상시키는 메타 계면 구조물에 관한 것이다. 본 발명은 기판(100); 상기 기판(100) 상에 구비되는 소자층(200); 및 상기 기판(100) 및 소자층(200) 사이에 구비되며, 단원자층의 2차원재료가 2층 이상 적층되어 형성되는 메타계면층(300);을 포함하여 이루어진다. 또한, 메타 계면 구조물의 제작 방법은 지지필름을 제1 이차원재료가 합성된 제1 포일에 코팅하는 제1 포일 코팅 단계(S100); 에칭 공정을 통해 상기 제1 포일을 제거하는 제1 포일 제거 단계(S200); 상기 지지필름이 코팅된 제1 이차원재료를 제2 이차원재료가 합성된 제2 포일 상에 전사하는 제1 전사 단계(S300); 에칭 공정을 통해 상기 제2 포일을 제거하는 제2 포일 제거 단계(S400); 상기 지지필름이 코팅된 상기 제1 및 제2 이차원재료를 기판 상에 전사하는 제2 전사 단계(S500); 상기 지지필름을 제거하는 지지필름 제거 단계(S600); 및 상기 제1 및 제2 이차원재료인 메타계면층(300) 상에 소자층을 적층하는 소자층 적층 단계(S700); 로 이루어진다. |
