Zweidimensionale Transferstation, die als Schnittstelle zwischen einer Prozessanlage und einem Transportsystem dient, und Verfahren zum Betreiben der Station

摘要

Verfahren zum Austauschen von Transportbehältern zwischen einem automatisierten Transportsystem (270) und einer Prozessanlage (260a, 260b) einer Fertigungsumgebung (250), wobei das Verfahren umfasst: Zuführen eines ersten Substratbehälters (273) zu einem ersten Transferplatz (201a) eines zweidimensionalen Arrays aus Transferplätzen (201), wobei auf jeden der Transferplätze (201) von einem Fahrzeug (272) des automatisierten Transportsystems (270) zugegriffen wird; Überführen des ersten Substratbehälters (273) zu einer ersten von mehreren Ladestationen (LP1, LP2, LP3) der Prozessanlage (260a, 260b), wobei der erste Transferplatz (201a) vertikal über der ersten der mehreren Ladestationen (LP1, LP2, LP3) angeordnet ist; Überführen eines zweiten Substratbehälters (273) von einer zweiten der mehreren Ladestationen (LP1, LP2, LP3) zu dem ersten Transferplatz (201a) des zweidimensionalen Arrays; und Aufnehmen des zweiten Substratbehälters (273) von dem ersten Transferplatz (201a) mittels eines Fahrzeugs (272) des automatisierten Transportsystems (270).