| 摘要 |
다이 패키지와 그 제조 방법이 개시된다. 실시예에서, 다이 패키지의 제조 방법은, 적어도 하나의 비아, 상기 적어도 하나의 비아를 캡슐화하는 폴리머층, 및 상기 폴리머층을 캡슐화하는 제1 성형 화합물을 포함하는 캡슐화된 비아 구조를 형성하는 단계; 상기 캡슐화된 비아 구조와 제1 다이 스택을 캐리어 위에 배치하는 단계로서, 상기 적어도 하나의 비아는 상기 캐리어에 근접한 제1 단부와, 상기 캐리어에 먼 제2 단부를 갖는 것인 상기 배치하는 단계; 상기 제1 다이 스택과 상기 캡슐화된 비아 구조를 제2 성형 화합물로 캡슐화하는 단계; 및 상기 제2 성형 화합물 위에 제1 재배선층(RDL)을 형성하는 단계로서, 상기 제1 RDL은 적어도 하나의 비아를 전기적으로 연결하는 것인 상기 제1 재배선층을 형성하는 단계를 포함할 수도 있다. |
