晶圆探针的测试装置

摘要

本实用新型为有关一种晶圆探针的测试装置，主要结构包括一供检查至少一针体的表面规格的第一验证装置、一设于该第一验证装置一侧的研磨装置，该研磨装置包含至少一研磨机构、及一信息连接该研磨机构的参数数据库，并于该研磨装置背离该第一验证装置一侧设置一供检查该针体研磨后的表面规格的第二验证装置，及于该第二验证装置背离该研磨装置一侧设置一电性查验装置，以将该针体与至少一工作机构进行使用测试。借上述结构，使针体分别在表面研磨处理程序的前后进行表面规格验证，并于验证后进行针体的产品实测或实机实测，以确保其质量及良率。

主权项

一种晶圆探针的测试装置，其特征在于，包含：一供检查至少一针体的表面规格的第一验证装置；一设于该第一验证装置一侧的研磨装置，该研磨装置包含至少一研磨机构、及一信息连接该研磨机构的参数数据库；一供检查该针体研磨后的表面规格的第二验证装置，设于该研磨装置背离该第一验证装置一侧；一将该针体与至少一工作机构进行使用测试的电性查验装置，设于该第二验证装置背离该研磨装置一侧。