基于液晶空间光调制器非球面镜计算全息干涉检测方法

摘要

基于液晶空间光调制器非球面镜计算全息干涉检测方法，涉及光学测量领域。本发明利用数字相移干涉仪提供光源、成像系统和干涉图分析软件，引入液晶空间光调制器作为计算全息的载体，通过计算全息干涉法，实现非球面反射镜的在线检测。测试光路中引入零位补偿透镜补偿非球面镜的球差，而残余波像差则通过ZEMAX光线追迹得到，通过波像差的Zernike系数和Zernike表达式，获得其数学模型，通过计算全息编码，将其制作成计算全息图加载到液晶空间光调制器上，经过调制形成参考光，并与测试光干涉。该方法利用数字相移干涉仪强大的干涉图分析功能和液晶空间光调制器实时显示计算全息图的功能，能够实时地进行非球面镜的在线检测。

主权项

基于液晶空间光调制器非球面镜计算全息干涉检测方法，其特征是：它由以下步骤实现：数字相移干涉仪(1)发出的激光经标准平面参考镜(2)透射和光阑(3)限束后，入射至分光镜(4)，经所述分光镜(4)分束成透射光和反射光，所述透射光经扩束准直镜(5)扩束和零位补偿透镜(6)聚焦后入射至待检非球面镜(7)，并经待检非球面镜(7)反射形成测试光，所述测试光经零位补偿透镜(6)和扩束准直镜(5)，返回至分光镜(4)；所述反射光经偏振片(8)入射至液晶空间光调制器(9)，经液晶空间光调制器(9)调制获得参考光；所述参考光经偏振片(8)返回至分光镜(4)；所述测试光与参考光在分光镜(4)叠加发生干涉，形成干涉光，所述干涉光经光阑(3)和标准平面参考镜(2)，返回至数字相移干涉仪(1)的成像系统。