| 摘要 |
窒化珪素焼結体をＸＲＤ分析した際に、六方晶系α−ＳｉＡｌＯＮ結晶に対応する２９．６±０．３°および３１．０±０．３°に検出される最強ピーク強度をＩ２９．６°、Ｉ３１．０°とする一方、β−Ｓｉ３Ｎ４結晶に対応する３３．６±０．３°、３６．１±０．３°に検出される最強ピーク強度をＩ３３．６°、Ｉ３６．１°としたときに、各最強ピーク強度が下記関係式：Ｉ２９．６°＋Ｉ３１．０°）／（Ｉ３３．６°＋Ｉ３６．１°）＝０．１０〜０．３０ …（１）を満たし、上記窒化珪素焼結体の任意の断面における単位面積１００μｍ×１００μｍ当りの粒界相の面積比が２５〜４０％であり、マシナブル係数が０．１００〜０．１２０であることを特徴とする窒化珪素焼結体である。本発明によれば、摺動特性が長期間安定した摺動部材に好適な窒化珪素焼結体およびそれを用いた摺動部材を提供することができる。 |
