| 发明名称 |
DEVICE AND METHOD FOR SENSING NANO-SCALE PRESSURE |
| 摘要 |
본 발명은 제1 기판, 상기 제1 기판 상에 형성되는 제1 박막층, 상기 제1 박막층 또는 제1 기판에 압력을 가하는 나노 구조물 및 상기 압력에 의해 상기 제1기판과 상기 제1박막층 사이의 전류 변화를 감지함으로써 상기 압력을 측정하는 압력 측정부를 포함하는 나노 압력 센싱 소자 및 이를 이용한 압력 센싱 방법을 개시한다. |
| 申请公布号 |
KR20170004113(A) |
申请公布日期 |
2017.01.11 |
| 申请号 |
KR20150094016 |
申请日期 |
2015.07.01 |
| 申请人 |
한국과학기술연구원 |
发明人 |
백승협;김진상;최지원;강종윤;김성근;권범진;김신익 |
| 分类号 |
G01L1/20;G01L9/02;G01Q60/24;H01L21/66 |
主分类号 |
G01L1/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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