一种晶棒转移设备

摘要

本实用新型公开了一种晶棒转移设备，转移车体上水平固定有定位板，在定位板上设置有多个定位孔，定位板的下方水平设置有支撑板，支撑板上表面与各定位孔正对的位置设置有支撑块，支撑块的上表面为支撑平面，在支撑板的下方设置有驱动机构，支撑板移动到最高处时支撑平面与定位板的上表面相平，支撑板移动到最低处时支撑平面低于定位板的上表面；定位板或/和支撑板上固定有竖向设置的导向套筒，支撑板或/和定位板上固定有竖向设置的导向柱，导向柱与导向套筒活动套接，并在两者之间设置减小摩擦力的滚珠。该设备既能对各晶棒形成定位防止晶棒在转移过程中发生位移，也便于晶棒取放，并且支撑板的竖向移动也相对灵活顺畅。

主权项

一种晶棒转移设备，包括转移车体(1)和设置在所述转移车体(1)底部的车轮(2)，其特征在于：所述转移车体(1)上水平固定有定位板(3)，在所述定位板(3)上设置有多个与晶棒形状相匹配的定位孔(31)，所述定位板(3)的下方水平设置有可竖向移动的支撑板(4)，所述支撑板(4)上表面与各定位孔(31)正对的位置设置有与所述定位孔(31)相匹配的支撑块(41)，所述支撑块(41)的上表面为适于放置晶棒的支撑平面(42)，在所述支撑板(4)的下方设置有适于带动所述支撑板(4)上下移动的驱动机构，所述支撑板(4)移动到最高处时所述支撑平面(42)与所述定位板(3)的上表面相平，所述支撑板(4)移动到最低处时所述支撑平面(42)低于所述定位板(3)的上表面；所述定位板(3)或/和所述支撑板(4)上固定有竖向设置的导向套筒(32)，所述支撑板(4)或/和所述定位板(3)上固定有竖向设置的导向柱(45)，所述导向柱(45)与所述导向套筒(32)活动套接，并在两者之间设置减小摩擦力的滚珠(9)。