| 发明名称 |
USE OF ATOMIC LAYER DEPOSITION COATINGS TO PROTECT BRAZING LINE AGAINST CORROSION EROSION AND ARCING |
| 摘要 |
이 개시에 따르면, 적어도 2개의 알루미늄 또는 알루미늄 합금 컴포넌트들을 납땜하고 그리고 플라즈마 부식 내성을 부가하기 위해 양극산화된 코팅, 및 원자층 증착 코팅을 제공하기 위한 장치 및 방법을 포함한, 몇몇의 발명들이 제공된다. |
| 申请公布号 |
KR20170002306(A) |
申请公布日期 |
2017.01.06 |
| 申请号 |
KR20160080267 |
申请日期 |
2016.06.27 |
| 申请人 |
램 리써치 코포레이션 |
发明人 |
슈 린;더허티 존;시 홍;송 이웰;스리니바산 새티쉬 |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/02;H01L21/24;H01L23/00;H01L23/532 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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