发明名称 相对论返波振荡器中慢波结构的加工方法及加工用刀具
摘要 本发明公开了一种相对论返波振荡器中慢波结构的加工方法,包括:加工与所述慢波结构内部周期波纹以及Bragg反射腔相配合的第一刀具及第二刀具;对待加工的物料进行内孔的粗加工;采用第一刀具以车削加工的方式对粗加工物料内孔进行二次精加工;采用第二刀具以车削加工方式对慢波结构内侧壁上的Bragg反射腔进行加工,以使慢波结构的内侧壁的内径尺寸、波纹深度及周期尺寸符合产品质量要求。本发明通过相对论返波振荡器中慢波结构的加工方法,完成了0.34THz慢波结构的加工,经过尺寸测试,其慢波结构正弦波纹或矩形波纹底部结构符合要求,表面粗糙度,相关尺寸公差均达到了慢波结构的设计要求。本发明提供一种慢波结构加工用刀具。
申请公布号 CN106298406A 申请公布日期 2017.01.04
申请号 CN201610755264.7 申请日期 2016.08.29
申请人 中国工程物理研究院应用电子学研究所 发明人 胡林林;陈洪斌;马国武;宋睿
分类号 H01J23/16(2006.01)I;H01J23/24(2006.01)I;H01J25/46(2006.01)I 主分类号 H01J23/16(2006.01)I
代理机构 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 代理人 郑健
主权项 一种相对论返波振荡器中慢波结构的加工方法,其特征在于,包括:加工与所述慢波结构内部周期波纹以及Bragg反射腔相配合的第一刀具及第二刀具;对待加工的物料进行内孔的粗加工;采用第一刀具以车削加工的方式对粗加工物料内孔进行二次精加工;采用第二刀具以车削加工方式对慢波结构内侧壁上的Bragg反射腔进行加工,以使慢波结构的内侧壁的内径尺寸、波纹深度及周期尺寸符合产品质量要求。
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