涂布机

摘要

本发明提供一种涂布机，用于向基板上涂布光刻胶，所述涂布机设有驱动马达、线性喷嘴和挡片，所述驱动马达用于驱动所述线性喷嘴进行前后或上下运动，所述线性喷嘴包括用于向下方喷涂所述光刻胶的喷口，所述挡片设置在所述喷口的端部，以用于阻挡所述喷口的所述端部向所述基板涂布所述光刻胶。根据本发明的涂布机无需在基板的边缘区域进行光刻胶涂布，能够省去基板的曝边工艺，从而能够节省曝边机的设备成本，并且降低产品不良的风险。

主权项

一种涂布机，用于向基板上涂布光刻胶，其特征在于，所述涂布机设有驱动马达、线性喷嘴和挡片，所述驱动马达用于驱动所述线性喷嘴进行前后或上下运动，所述线性喷嘴包括用于向下方喷涂所述光刻胶的喷口，所述挡片设置在所述喷口的端部，以用于阻挡所述喷口的所述端部向所述基板涂布所述光刻胶。