发明名称 电解液输送和生成装置
摘要 本发明涉及一种电解液输送和生成装置。一种用于自动生成含金属的电解液(例如,含有Sn<sup>2+</sup>离子和酸的电解液)的装置包括:阳极电解液室,其构造成容纳活性阳极(例如,金属锡阳极);阳极电解液;和传感器(例如,一个或多个传感器),所述传感器测量在阳极电解液中的金属离子浓度;阴极电解液室,其构造成容纳生成氢的阴极和阴极电解液;以及控制器,其具备用于处理来自传感器的数据和用于在阳极电解液室中自动生成具有在目标浓度范围内的金属离子的电解液的程序指令。在一些实施方式中,根据需要,装置与电镀装置通信并且能够输送所生成的电解液到电镀装置。在一些实施方式中,密度计和电导计一起用作传感器,并且装置构造成生成含有酸的低阿尔法锡电解液。
申请公布号 CN106191934A 申请公布日期 2016.12.07
申请号 CN201610369815.6 申请日期 2016.05.30
申请人 朗姆研究公司 发明人 史蒂文·T·迈耶;格雷戈里·卡恩斯;理查德·G·亚伯拉罕;劳伦斯·奥索维斯基
分类号 C25D3/02(2006.01)I 主分类号 C25D3/02(2006.01)I
代理机构 上海胜康律师事务所 31263 代理人 樊英如;张静
主权项 一种用于生成含有金属离子的电解液的装置,所述装置包括:(a)阳极电解液室,其构造成含有活性阳极和阳极电解液,其中所述装置构造成电化学地溶解所述活性阳极到所述阳极电解液中,并且由此形成含有金属离子的电解液,其中所述阳极电解液室包括:(i)用于接收流体的入口;(ii)用于移除所述阳极电解液的出口;以及(iii)一个或多个传感器,其构造成用于测量在所述阳极电解液中的金属离子的浓度;(b)第一阴极电解液室,其通过第一阴离子可渗透膜与所述阳极电解液室分隔开,其中所述第一阴极电解液室构造成包含第一阴极电解液;(c)第二阴极电解液室,其构造成包含阴极和第二阴极电解液,其中所述第二阴极电解液室通过第二阴离子可渗透膜与所述第一阴极电解液室分隔开。
地址 美国加利福尼亚州