一种光学系统立式装检装置

摘要

本实用新型公开了一种光学系统立式装检装置，属于精密光学应用技术领域，该装检装置包括调整转台及在调整转台上自下至上依次设置的3个调整支架；调整转台用于放置被装检零件，3个调整支架安装在一固定安装架上，自下至上分别为补偿镜调整支架、干涉仪调整支架和自准平面镜调整支架；3个调整支架均包括竖向导轨和横向导轨，所述竖向导轨与固定安装架固连，横向导轨能够沿竖向导轨上下滑动；本实用新型能够避免由于重力原因引起的面形问题，装检光路可自由组合调节，可满足不同光学系统的检测需求。

主权项

一种光学系统立式装检装置，其特征在于：包括调整转台及在调整转台上自下至上依次设置的3个调整支架；调整转台用于放置被装检零件，3个调整支架安装在一固定安装架上，自下至上分别为补偿镜调整支架、干涉仪调整支架和自准平面镜调整支架；3个调整支架均包括竖向导轨和横向导轨，所述竖向导轨与固定安装架固连，横向导轨能够沿竖向导轨上下滑动；所述补偿镜调整支架还包括补偿镜；所述补偿镜设置在横向导轨上，能够沿横向导轨左右滑动；所述干涉仪调整支架还包括激光干涉仪；所述激光干涉仪设置在横向导轨上，能够沿横向导轨左右滑动；所述自准平面镜调整支架还包括自准平面镜；所述自准平面镜设置在横向导轨上，能够沿横向导轨左右滑动。