一种复合微非球面或微非球面的柱面镜制作方法

摘要

本发明公开了一种复合微非球面柱面镜制作方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1：首先将光纤棒或细玻璃棒按照设计要求侧面抛光一定量形成小平面；步骤2：接着根据二者光学成像匹配原则采用半导体光学制作技术光刻制作与光纤棒或细玻璃棒尺寸相当的微非球面柱面，二者分别镀AR膜，然后切割成合适的尺寸；步骤3：最后采用紫外固化胶、环氧胶、生化光胶粘接形成复合微非球面柱面镜。本发明还包括一种微非球面柱面镜制作方法。本发明利用低成本光纤或者细玻璃棒为原材料，通过半导体微光学加工技术大面积光刻制作复合微非球面或微非球面柱面镜能够很好的用于半导体激光器准直输出，具有生产效率高，使用简单，成本低等优点。

主权项

一种复合微非球面柱面镜制作方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1：首先将光纤棒或细玻璃棒按照设计要求侧面抛光一定量形成小平面；步骤2：接着根据二者光学成像匹配原则采用半导体光学制作技术光刻制作与光纤棒或细玻璃棒尺寸相当的微非球面柱面，二者分别镀AR膜，然后切割成合适的尺寸；步骤3：最后采用紫外固化胶、环氧胶或生化光胶粘接形成复合微非球面柱面镜。